MEMS
MEMS技術
MEMSテクノロジー
MEMSデバイス

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）製品の開発→試作→量産OEM製造に至るフルファンダリーサービスを、豊富な経験と蓄積された技術を持つカナダのMicralyne社と総委託加工先として始めました。当社は単なる仲介を行うだけではなく、Micralyne社の優れた技術と信頼の置けるファンダリーの有効性を広く紹介し、品質・コスト・短期量産化で競争力のあるMEMSデバイスを提供いたします。

MEMS - 技術の特徴と強み

Micralyne社は、サーフェイス／バルク／SOIの各マイクロマシニング、PLC(Planar Lightwave Circuit）、マイクロフルイディクス、成膜、はんだメッキからダイシング、ワイヤーボンディングの実装に至るまでのフルファンダリーサービスを行っており、MEMSデバイス製造に特化した技術と豊富な経験を持っています。

全ての開発設備、量産設備は半導体製造ラインの転用ではなく、当初よりMEMSデバイスの製造専用に設計、設定された物です。シリコンウエハーサイズは４インチを基本とし、6インチまで対応いたします。

MEMS - 開発・試作・量産　実績

- 「通信・電子部品」
光スイッチ、導波路、可変減衰器、RFスイッチ、マイクロリレー、振動子、シリコンオプティカルベンチ、シリコンファイバアレイ、WDMフィルター、車載用センサー、大型プリンター用部品、レーザーダイオードサブマウント等

- 「バイオシステム」
遺伝子解析部品、タンパク質解析部品、プロテオミクス部品ドラッグデリバリーシステム、ドラッグディスカバリーシステム、マテリアルディスカバリーシステム、マイクロリアクター、水質分析部品、サンプル作成システム等